фотолитография с последовательным шаговым экспонированием

žingsninė fotolitografija statusas T sritis radioelektronika atitikmenys: angl. optical stepper lithography vok. Fotolithografie nach dem Step-und-Repeat-Verfahren, f rus. фотолитография с последовательным шаговым экспонированием, f pranc. photolithographie à l'exposition pas à pas, f